对于水气管路、真空腔等，气密性是保证设备正常运行或达到良好效果的重要指标，尤其是半导体设备内有易燃易爆或腐蚀性、有毒气体时，良好的气密性是保证安全的前提。不同的场合对气密性有不同的要求，常见的10种泄漏检测方法如下：

气密性检测方法对比

1、皂泡法

利用皂泡法进行接口检漏时，在管路内充入一定压力的示漏气体后，在怀疑有漏孔的地方涂抹肥皂液，形成肥皂泡说明有泄漏。专业规范测试可以采用气体泄漏检测喷剂。

皂泡法操作示意

2、超声波法

容器内或管道内充满气体 ，一旦有漏孔,，气体就会冲出。当漏孔尺寸较小且雷诺数较高时，冲出气体就会形成湍流，湍流在漏孔附近会产生一定频率的声波，声波振动的频率与漏孔尺寸有关，漏孔较大时人耳可听到漏气声。当漏孔很小且声波频率很高时，人耳就听不到了，但它们能在空气中传播，被称作空载超声波。超声波是高频短波信号，其强度随着传播距离的增加而迅速衰减。超声波具有指向性，利用这个特征，即可判断出正确的泄漏位置。

超声波检漏仪

超声波检漏仪使用示意图

3、热辐射检测

在漏孔处，气体逸出或进入腔室，热胀冷缩，导致局部温度变化。通过高精度的热成像仪找到漏孔位置，常用于暖气或冷媒管道泄漏检测。

红外温枪检测泄漏

4、卤素法

常用的卤素气体有氯仿、四氯化碳、三氯乙烯、氟氯烷等。卤素检漏仪连接到排气管路上，腔室抽真空喷卤素气体，当卤素气体通过漏孔进入腔室后，检漏仪可以检测到。

或者腔室内充入卤素气体，检漏仪连接吸枪放在可能泄漏的地方，如果卤素气体泄漏，可以检测到。

卤素气体检测仪

5、嗅探泄漏检测

类似卤素气体正压检漏，腔室或管路内充入氦气，检漏仪连接吸枪放在可能泄漏的地方，检测是否有氦气泄漏。

氦检吸枪法示意

6、氦检

腔室或管路抽真空，氦检漏仪连接到排气管路上，往可能泄漏的地方喷氦气，当氦气通过漏孔进入腔室后，检漏仪内有质谱仪可以检测到。如果待检测的腔室容积小，可以直接用氦检仪抽真空，氦检仪内部有一个前级泵和一个分子泵。如果待检测的腔室容积大，需要旁通的大抽速真空泵先抽真空，最后再用氦检仪检漏，降低抽真空时间，提高效率。

如果需要检测的漏率准确，在喷氦气时，需要待测腔室和大抽速真空泵断开，否侧进入腔室的一部分氦气会被辅助真空泵抽走，导致测得的漏率偏小。

真空法氦检

7、气泡法

管路或腔室充入空气或其他气体，将可能泄漏的地方放入水中，有气泡冒出，就说明漏气。

气泡法操作示意

8、水压法

主要针对水管密封性测试，管道内充入水，关闭进出水口阀门，保压一定时间，测试压降。

9和10、压降压升法

压降：腔室或管道充入气体，测试一定时间内压力降低多少。

压升：腔室或管道抽真空，测试一定时间内压力上升多少。半导体设备做工艺前多采用这种方式粗略测试设备的气密性，一般保压5min。